徳川家臣。父は成瀬正一、母は熊谷直連（なおつら）の娘。通称は小吉。従五位下・隼人正。
若年より徳川家康に従って小姓組に属した。
天正１２年（１５８４）の小牧・長久手の合戦に功があり、天正１８年（１５９０）の小田原征伐、朝鮮の役にも功を重ねて下総国栗原４千石を与えられた。
慶長５年（１６００）には和泉国堺の奉行に補せられ、本多正純や安藤直次らと共に政務の中枢に参与し、２万石を甲斐国内で加封された。
慶長１２年（１６０７）に従五位下・隼人正に任ぜられた。
慶長１５年（１６１０）に尾張徳川家・徳川義直の補佐役となり、名古屋藩創成期の藩政を指揮し、その確立に功績を残した。
慶長１９年（１６１４）の大坂冬の陣ののちには総掘埋め立ての指揮を執った。
元和３年（１６１７）、尾張藩付家老として尾張国犬山城を与えられ、元和６年（１６２０）には１万石を加増されて３万石を領するに至った。
寛永２年（１６２５）１月１７日、江戸にて死去。５８歳。生年を永禄１０年（１５６７）で享年を５９歳とする説もある。