著者 Toba,H. Izumi,H. Hatada,H. Chikushima,T.
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing (Volume:18 Issue:1 Feb. 2005)
Page(s): 202- 213
Date of Publication: 14 February 2005
以下訂正論文
【特許】 米国3件特許成立 日本6件特許成立 計17件出願
広島大学として4件特許出願し、4件特許登録されました。
2024年3月11日
成立した特許の内容は、以下の二つのpaperで発表したものである。
平成19年度春季大会予稿集 社団法人日本経営工学会 2007
会期 : 平成19年5月12・13日
開場 : 成蹊大学
筆者 広島大学 *守田広太, 高橋勝彦, 森川克己 広島エルピーダ 泉宏明
筆者 泉宏明(広島エルピーダ)、高橋勝彦、森川克己、守田広太(広島大学)
【泉宏明の特許一覧】